Aktuell und didaktisch ausgereift, bietet der Band Anwendern und fortgeschrittenen Studierenden einen ausgezeichneten Zugang zu den Themenbereichen MEMS und Mikrosysteme. Berücksichtigt werden sowohl Aspekte der Elektrik und Elektronik als auch die mechanische Seite der MEMS.

Tai-Ran Hsu, PhD, is a Professor in the Department of Mechanical and Aerospace Engineering, San Jose State University, California. Dr. Hsu is the author of the earlier edition of this book, which is considered one of the bestselling textbooks on the subject of MEMS.