Physical Vapor Deposition of Thin Films
John E. Mahan
Technology & Engineering / Materials Science / General
Vom entspiegelten Brillenglas bis zur CD und zum Festplattenlaufwerk: Dünne Schichten mit speziellen optischen oder magnetischen Eigenschaften werden immer verbreiteter eingesetzt! Eine Methode der Herstellung solcher Schichten, die physikalische Abscheidung aus der Gasphase, bildet das zentrale Thema dieses Buches. Ebensogut als Lehrbuch wie als Nachschlagewerk für die Berufspraxis geeignet! (11/99)
JOHN E. MAHAN, PhD, is Professor of Electrical Engineering at Colorado State University.
| Publication Date: |
01 February 2000 |
| Publisher: |
Wiley |
| Imprint: |
Wiley-Interscience |
| ISBN-13: |
9780471330011 |
| Format: |
Hardback |
| Page Count: |
340 |
| Weight (oz): |
20.8 |